■ 진공 Generator를 이용 큰 흡입력으로 Wafer의 이송시 적합함
■ Vacuum Pen - 1.8 M Coil Hose 포함
■ Class 100 Cleanroom Safe
■ 같은 Vacuum Generator를 사용하기 때문에 Tip만 교환하여 사용 가능함
■ Composition : Vacuum Generator, Vacuum Pen, Moulded Wafer Tip Pen
Holder, 220V Adapter
■ Virtual Industries, Inc. ■ Bioron